针对基于二维材料器件尺度缩减的难题，提出了基于纳米操作机器人的超声加工与检测协同制造方法，实现了基于多层二硫化钼的纳米器件制造，所制造的器件呈现 N型金属氧化物半导体场效应晶体管（MOSFET）性质。
