基于超透镜的纳米激光加工----机器人与智能系统全国重点实验室

基于超透镜的纳米激光加工

时间：2018-08-13 来源：文本大小：【大 | 中 | 小】【打印】

为解决纳米结构加工技术发展所面临的光学衍射极限难题，提出了采用超透镜获得半高全宽小于衍射极限的光子纳米喷流的加工方法，实现快速原位微纳加工，图片展示了采用该方法实现的直径为250纳米的微孔加工，为微纳结构在半导体领域的广泛应用推波助澜。

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