基于光诱导介电泳的微纳制造----机器人与智能系统全国重点实验室

基于光诱导介电泳的微纳制造

时间：2018-08-13 来源：文本大小：【大 | 中 | 小】【打印】

为解决MEMS器件发展中所面临的加工制造工艺复杂、生产周期长、成本高等难题，提出了基于光诱导介电泳技术微纳制造方法，可实现快速无掩膜的可编程制造，视频展示了采用该方法实现银电极快速一体化制造，为MEMS领域的发展提供重要工具。

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