三维光学表面轮廓仪是高精度大尺寸表面分析仪器，可以用于极宽范围内高品质三维表面特征测量，应用范围从粗糙到光滑的、坚硬的到柔软的，黏性的、弯曲的或各种场合下难于测量的表面，光学薄膜的反射率，透射率，翘曲度，半导体芯片的失效分析。
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