等离子体去胶机通过在反应腔内布置的电极之间的超高电压在仪器内部形成强磁场，使得工艺气体被电离成为带电等离子体，促进光刻胶与工艺气体进行反应生成可挥发性的物质，从而达到除去光刻胶的目的。
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